LEIS:

• 离子源：He、Ne、Ar；
• 检测范围：定性、定量分析原子序数大于He的所有元素；
• 检测限：轻元素2%单层，重元素0.1%单层。

XPS:

• X-ray光源：单色化Al kα；
• 束斑：0.75 mm；
• 检测范围：原子序数大于He的所有元素；
• 信息深度：0.5～7.5 nm；
• 能量分辨率：0.6 eV(Ag)。

LEIS:

1. 着重于检测固体（含粉末、绝缘体等）最表面一个原子单层组成和各元素百分含量，如纳米粒子、催化剂表面组份和活性组份的分散。
2. 具有深度剖析功能，可做样品深度剖析，检测样品的深度分布。
3. 可用于样品表面缺陷分析

LEIS:

1. 着重于检测近表面区域几个纳米厚度的平均组成、含量及元素价态。

郑燕萍：0592－2187691，haidao1995@sina.com