• 发叉式钨灯丝
• 加速电压：0~30kV
• 发射电流：10^-6A~10^-12A
• 放大倍数：40×~300,000x
• 波谱能量分辨率：10eV
• 能谱能量分辨率：136eV
• 分析元素范围：⁵B~⁹²U

1. 成分分析不需破坏样品；能谱定性快，一般元素定量准确，波谱定量准确特别是对轻元素的测量；
2. 可以进行点分析，线分析，面分析等多种操作；
3. 具备二次电子和背散射电子成像功能，可以观察样品形貌，元素衬度。
4. 矿物、金属、半导体、高分子、陶瓷、纳米材料等形貌观察，图像分析、处理，微区成分分析。

范松华：