• X-ray光源：Al阳极靶，扫描式单色器；
• 束斑：10 μm~200 μm，一般100 μm~200 μm；
• 能量分析仪：180°半球形分析器+16通道检测器，
• 基础真空：<5 ×10-10 torr
• 检测范围：原子序数大于He的所有元素；
• 检测极限：0.5~0.01 atomic%
• 信息深度：0.5～7.5 nm
• 能量分辨率：优于0.5 eV(Ag)；
• 空间分辨率：优于10 μm
• 半定量：相对原子灵敏度因子法

1. 具有先进的自动电中和功能，可消除非导体样品的荷电位移影响；
2. 仪器同时具有角分辩XPS功能及氩离子深度剖析功能；
3. 具有元素影像扫描功能；
4. 通过仪器附带的SPS工作台，可方便进行样品元素的化学微区分析（100～200 μm）。

1. 检测固体材料表面或纵深方向的元素组成及分布，通过元素结合能位置了解元素化学状态或键合状态。
2. 任何固体样品均可，但不得具有磁性、毒性、辐射性及易挥发性。

汤丁亮：0592-2184829(O), esca@xmu.edu.cn