• 检测范围：原子序数大于He的所有元素
• 检测极限：0.1 at%
• 信息深度：0.5~5 nm
• 空间分辨率：25 nm
• 能量分辨率≤0.3%
• 半定量：相对原子灵敏度因子法

主要应用于固体材料的成份，特别是微纳区域的表面与结构分析（线扫描，面扫描，深度剖析，成像）。

徐富春：0592-2184829(O), esca@xmu.edu.cn