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纳米粒子表面原子层沉积系统

  • 简 介： 
    仪器名称：　纳米粒子表面原子层沉积系统
    型　　号：　R-200 Advanced
    生产厂商：　芬兰Picosun公司
    购置年份：　
    放置地点：　厦门大学化学系化学楼223

  • 主要技术指标： 
    • 双腔室热壁反应器
    • 专门的纳米粒子或粉末反应器
    • AC-2025 臭氧发生器 (10%)
    • 六个前驱体源和四个独立进气口
    • 最高沉积温度为 500摄氏度
    • 配四级杆质谱

  • 主要功能和应用： 

    主要应用于在纳米粒子或硅等固相基底表面原子层沉积金属氧化物。沉积的材料包括但不限于：Al2O3, TiO2, SiO2


  • 仪器管理员：
    周勇亮:　18959281583，ylzhou@xmu.edu.cn
    张大霄：15980812714，zdx8637@gmail.com


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